Open Access

Dirk Jansen, Jürgen Hauser, Jürgen Mescheder

• Es wurde eine Interface-Elektronik zur Messung kleinerer Kapazitätsdifferenzen entworfen, wie sie zur Auswertung der Signale eines mikromechanischen Absolutdruckaufnehmers erforderlich ist. Messkapazität und Referenzkapazität bilden die Frequenz bestimmenden Elemente jeweils eines digitalen Oszillators, der im Frequenzbereich von 6......10 MHz schwingt. Die Frequenzen werden über einenEs wurde eine Interface-Elektronik zur Messung kleinerer Kapazitätsdifferenzen entworfen, wie sie zur Auswertung der Signale eines mikromechanischen Absolutdruckaufnehmers erforderlich ist. Messkapazität und Referenzkapazität bilden die Frequenz bestimmenden Elemente jeweils eines digitalen Oszillators, der im Frequenzbereich von 6......10 MHz schwingt. Die Frequenzen werden über einen Zeitintervall ausgezählt und die Differenz in einem Rechner gebildet. Der Zeitintervall ist konfigurierbar. Durch die digitale Weiterverarbeitung ist das Interface auf einen großen Bereich ähnlich konzipierter Drucksensoren anpassbar. Der Design fügt sich als Modul in das Konzept des FHOP-Kits ein. Den Nachweis der Funktion muss noch ein Testchip erbringen.…