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Siegmar Hesslinger, Udo Moschberger

• Es wird ein zeitoptimiertes Scanning-Verfahren zur Leckortung an Reinraum-Filterdecken auf der Basis der Richtlinie VDI 2083 Bl. 3 vorgestellt. Aufgabe des Verfahrens ist, die Positionen in der Meßebene liegender Flächen mit dem Querschnitt der isokinetischen Sondenöffnung zu bestimmen. Dabei wird eine vorab zu bestimmende Wahrscheinlichkeit zugrundegelegt, bei der die mittlere auftretendeEs wird ein zeitoptimiertes Scanning-Verfahren zur Leckortung an Reinraum-Filterdecken auf der Basis der Richtlinie VDI 2083 Bl. 3 vorgestellt. Aufgabe des Verfahrens ist, die Positionen in der Meßebene liegender Flächen mit dem Querschnitt der isokinetischen Sondenöffnung zu bestimmen. Dabei wird eine vorab zu bestimmende Wahrscheinlichkeit zugrundegelegt, bei der die mittlere auftretende Konzentration von Partikeln höher ist, als die nach VDI 2083 Bl.3 zulässige. Die Verhältnisse beim Sondendurchgang über einem Kontaminationsbereich werden unter Beachtung aller Randbedingungen berechnet, wobei der sich für die Leckerkennung ungünstigste Fall, der bei einer homogenen Verteilung der durch das Leck austretenden Partikel auf der nachzuweisenden Fläche liegt, angenommen wird. Der Sondendurchgang wird als Bewegungsablauf definiert, zeitlich bestimmt vom Eintritt der Sondenvorderkante in die Kontaminationsfläche bis zum Verlassen derselben mit der Sondenhinterkante. Als Ergebnis der Berechnungen werden Vorschubgeschwindigkeit der Sonde beim Scanverfahren, Flächenleistung des Scanverfahrens, Sondendurchgangszeit und Leckerkennungskriterium, ausgewiesen. (Otto)…