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Verfahren und Vorrichtung zum Transport flacher Substrate (DE102012110916B4)

  • Die Erfindung betrifft das Gebiet des Transports flacher Substrate wie beispielsweise Siliziumsubstrate. Insbesondere betrifft die Erfindung den besonders schonenden und kontinuierlichen Transport solcher Substrate. Das erfindungsgemäße Verfahren dient dem Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats (1) in eine Transportrichtung innerhalb eines mit einem flüssigen Medium (F)Die Erfindung betrifft das Gebiet des Transports flacher Substrate wie beispielsweise Siliziumsubstrate. Insbesondere betrifft die Erfindung den besonders schonenden und kontinuierlichen Transport solcher Substrate. Das erfindungsgemäße Verfahren dient dem Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats (1) in eine Transportrichtung innerhalb eines mit einem flüssigen Medium (F) gefüllten Transportkanals (2), wobei das flüssige Medium (F) gegen mindestens eine der Flachseiten des Substrats (1) strömt und eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats (1) aufhebende Tragekomponente, sowie eine in Transportrichtung gerichtete Vorschubkomponente aufweist, so dass das Substrat (1) ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst einen Transportkanal (2) zur Aufnahme eines flüssiges Mediums (F) sowie eines innerhalb dieses Mediums (F) in vertikaler Ausrichtung zu führenden Substrats (1), wobei der Transportkanal (2) in seinem Wandbereich (3, 4) Einströmöffnungen (5) aufweist.show moreshow less

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Metadaten
Document Type:Patent
Zitierlink: https://opus.hs-offenburg.de/8463
Bibliografische Angaben
Title (German):Verfahren und Vorrichtung zum Transport flacher Substrate (DE102012110916B4)
Number:DE102012110916B4
Country of Patent Application:Deutschland
Author:Hannah Banzhaf, Teresa Frenssen, Daniel KrayStaff MemberORCiDGND, Patrick Nowak, Sofia Reim, Christian Sautermeister, Alexander Schwarz
Year of Publication:2014
PatentApplication:13.11.2012
Date of Patent Granted:17.07.2014
Creating Corporation:Hochschule Offenburg
Page Number:9
URL:https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibdat&docid=DE102012110916B4
Language:German
Inhaltliche Informationen
Institutes:Fakultät Maschinenbau und Verfahrenstechnik (M+V)
Institutes:Bibliografie
Tag:Substanz; Transport
Formale Angaben
Open Access: Open Access 
 Bronze 
Licence (German):License LogoUrheberrechtlich geschützt
Comment:
Anmeldenummer: 102012110916
A1-Schrift: DE102012110916A1
Internationales Patent: WO2014076090A1