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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Laufzeitmessung mittels Ultraschall, bei dem ein komplexes Sendesignal erzeugt wird, mit dem zumindest ein Ultraschallsender durch Aussenden eines Ultraschallpulses angesteuert wird. Mit zumindest einem Ultraschallempfänger wird der Ultraschallpuls nach Durchlaufen einer Übertragungsstrecke empfangen und in ein komplexes Empfangssignal gewandelt. Das komplexe Empfangssignal wird mit dem komplexen Sendesignal korreliert, um ein komplexes Korrelationssignal zu erhalten. Das Korrelationssignal wird nicht nur nach Betrag, sondern auch nach Phase ausgewertet, um eine Laufzeit des Ultraschalls auf der Übertragungsstrecke zu bestimmen. Auf diese Weise wird zum einen eine höhere Genauigkeit der Laufzeitmessung erreicht, zum anderen beeinflussen andere akustische Laufwege des Ultraschallpulses die Messgenauigkeit nicht, so dass nur geringe Anforderungen an die Qualität der akustischen Übertragungsstrecke gestellt werden müssen.
Silicon edges as one-dimensional waveguides for dispersion-free and supersonic leaky wedge waves
(2012)
Acoustic waves guided by the cleaved edge of a Si(111) crystal were studied using a laser-based angle-tunable transducer for selectively launching isolated wedge or surface modes. A supersonic leaky wedge wave and the fundamental wedge wave were observed experimentally and confirmed theoretically. Coupling of the supersonic wave to shear waves is discussed, and its leakage into the surface acoustic wave was observed directly. The velocity and penetration depth of the wedge waves were determined by contact-free optical probing. Thus, a detailed experimental and theoretical study of linear one-dimensional guided modes in silicon is presented.