Verfahren und Vorrichtung zum Transport flacher Substrate (DE102012110916B4)
- Die Erfindung betrifft das Gebiet des Transports flacher Substrate wie beispielsweise Siliziumsubstrate. Insbesondere betrifft die Erfindung den besonders schonenden und kontinuierlichen Transport solcher Substrate. Das erfindungsgemäße Verfahren dient dem Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats (1) in eine Transportrichtung innerhalb eines mit einem flüssigen Medium (F)Die Erfindung betrifft das Gebiet des Transports flacher Substrate wie beispielsweise Siliziumsubstrate. Insbesondere betrifft die Erfindung den besonders schonenden und kontinuierlichen Transport solcher Substrate. Das erfindungsgemäße Verfahren dient dem Transport eines vertikal ausgerichteten flachen Substrats (1) in eine Transportrichtung innerhalb eines mit einem flüssigen Medium (F) gefüllten Transportkanals (2), wobei das flüssige Medium (F) gegen mindestens eine der Flachseiten des Substrats (1) strömt und eine die Summe aus Gewichts- und Auftriebskraft des Substrats (1) aufhebende Tragekomponente, sowie eine in Transportrichtung gerichtete Vorschubkomponente aufweist, so dass das Substrat (1) ohne mechanische Hilfsmittel getragen und transportiert wird. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst einen Transportkanal (2) zur Aufnahme eines flüssiges Mediums (F) sowie eines innerhalb dieses Mediums (F) in vertikaler Ausrichtung zu führenden Substrats (1), wobei der Transportkanal (2) in seinem Wandbereich (3, 4) Einströmöffnungen (5) aufweist.…
Document Type: | Patent |
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Zitierlink: | https://opus.hs-offenburg.de/8463 | Bibliografische Angaben |
Title (German): | Verfahren und Vorrichtung zum Transport flacher Substrate (DE102012110916B4) |
Number: | DE102012110916B4 |
Country of Patent Application: | Deutschland |
Author: | Hannah Banzhaf, Teresa Frenssen, Daniel KrayStaff MemberORCiDGND, Patrick Nowak, Sofia Reim, Christian Sautermeister, Alexander Schwarz |
Year of Publication: | 2014 |
PatentApplication: | 13.11.2012 |
Date of Patent Granted: | 17.07.2014 |
Creating Corporation: | Hochschule Offenburg |
Page Number: | 9 |
URL: | https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibdat&docid=DE102012110916B4 |
Language: | German | Inhaltliche Informationen |
Institutes: | Fakultät Maschinenbau und Verfahrenstechnik (M+V) |
Institutes: | Bibliografie |
Tag: | Substanz; Transport | Formale Angaben |
Open Access: | Open Access |
Bronze | |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |
Comment: | Anmeldenummer: 102012110916 A1-Schrift: DE102012110916A1 Internationales Patent: WO2014076090A1 |